| 摘要 |
用以从用于MEMS系统中的可变形薄膜恢复或仿真真实平行板电容器致动行为之机电动力轮廓厘清机构。可弯曲薄膜的曲状变形会在有质致动的期间使其之MEMS行为自维持几何平行性之坚固板间的互动偏离。本发明教示重新获得平行板行为的三种方法：于可变形MEMS薄膜之内或之上额外的添加或原位整合坚固区域；藉由将经协调与塑形的空隙引进与薄膜关联之导电区域中而改变薄膜上的力量轮廓以产生等力区域以确保平行性；以及综合合成之方式，其中导电区域系在沉积突起的坚固区之后沉积，藉此仿真等力行为，这系由于在该坚固区附近导体之间距离的增加，连同由该区直接导致的坚固性的优点。 |
