发明名称 | 一种光罩座 | ||
摘要 | 本发明系提供一种光罩座用于曝光机上,此光罩座包含有固定件,用以固定第一光罩于该光罩座上,而转换套件可拆卸得装设于固定件上,用以固定第二光罩于转换套件上。 | ||
申请公布号 | TW200731019 | 申请公布日期 | 2007.08.16 |
申请号 | TW095104770 | 申请日期 | 2006.02.13 |
申请人 | 中华映管股份有限公司 | 发明人 | 吴恒忠;吴英明 |
分类号 | G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 许锺迪 | |
主权项 | |||
地址 | 台北市中山区中山北路3段22号 |