发明名称 一种光罩座
摘要 本发明系提供一种光罩座用于曝光机上,此光罩座包含有固定件,用以固定第一光罩于该光罩座上,而转换套件可拆卸得装设于固定件上,用以固定第二光罩于转换套件上。
申请公布号 TW200731019 申请公布日期 2007.08.16
申请号 TW095104770 申请日期 2006.02.13
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 吴恒忠;吴英明
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 台北市中山区中山北路3段22号