探针薄片接着保持器、探针卡、半导体检测装置及半导体装置之制造方法

摘要

一种探针卡，具有：具与设置于晶圆1之电极3接触之接触端子4a、及从接触端子4a所被迂回配置的引出配线4c、及与引出配线4c电性连接之电极4d之探针薄片4；及具有与探针薄片的电极4d电性连接的电极50a之多层配线基板50，接触端子4a与晶圆1之电极3的接触，系由具有：从接触端子4a的端子群的背面介由具有弹簧5a之按压区块5b，对端子群施以加压力，来使与电极3接触之1个或复数个的接着保持器5来进行。将探针薄片4接着于接着保持器5，组合此接着保持器5来构成同时检测多数晶片之装置。