研磨垫及研磨装置

摘要

本发明提供一种研磨垫及研磨装置，可谋求研磨垫之长寿命化以及面内均匀性之提升，且可防止被研磨物贴附到研磨垫。一种研磨垫，其特征在于：具备：板状之垫本体21，以一面为研磨面22、以另一面为支持面23；以及复数之孔部30，系由将该垫本体21自研磨面22贯通至支持面23、且沿着研磨面22之面方向的相异复数方向延设之长孔31复数组合所形成者。