紫外线硬化型树脂之硬化方法、平面面板之制造方法、及紫外线照射装置

摘要

提供紫外线硬化型树脂的可靠性高之硬化方法，利用其的平面面板之制造方法，及适用于这些方法之实施的廉价、低消耗电力、高寿命且小型的紫外线照射装置。该方法为于将来自发光二极体的紫外线照射到紫外线硬化型树脂时，保持树脂表面的氧浓度于5体积％以下之硬化方法。该装置系由以下所构成：用于支持被处理体的支持器具，照射来自发光二极体的紫外线之机构，及藉由将惰性气体供应给上述被处理体的周围而可控制该被处理体表面的氧浓度之机构。