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Die Erfindung betrifft eine Heizvorrichtung (120) zum Testen von integrierten Bauelementen (200). Eine in der Heizvorrichtung (120) angeordnete Innenummantelung (10) umgibt eine Aufnahmekammer (152). Beispielsweise enthält die Innenummantelung (10) mindestens eine Aussparung (7), in der eine elektrisch leitfähige Kontaktvorrichtung (116) bewegbar angeordnet ist. Dies ermöglicht eine sichere Kontaktierung eines zu testenden Schaltkreises. Wird die Innenummantelung (10) beispielsweise kompakt ausgebildet, so gibt es eine sehr homogene Temperaturverteilung in der Heizvorrichtung (120).
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