发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER MASKE AUF EINER OBERFLÄCHE
摘要 A method of forming a masking pattern on a surface using the technique of droplet ejection to deposit droplets of deposition material, said method comprising depositing a plurality of droplets on said surface to form such a pattern comprising multiple discrete or coalesced extended portions.
申请公布号 DE60004798(T3) 申请公布日期 2007.08.16
申请号 DE2000604798T 申请日期 2000.05.30
申请人 PATTERNING TECHNOLOGIES LTD. 发明人 SPEAKMAN, STUART;GARDNER, ANDREW;BRESLER, ERIC
分类号 B41J2/01;B41M3/00;B41M7/00;G03F1/00;G03F7/16;H01L21/02;H01L21/288;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/10;H05K3/12;H05K3/28;H05K3/40 主分类号 B41J2/01
代理机构 代理人
主权项
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