| 发明名称 | 基底固定件以及器件制造方法 | ||
| 摘要 | 一种将小晶片装配到适于接收较大晶片的光刻装置上去的基底固定件，包括一个具有结点图案的较大硅片，其中在该图案上放置小晶片，用来对小晶片进行定位的定位插脚，以及由夹具环以及磁体构成的夹具，其中该磁体同较大晶片相连在一起。 | ||
| 申请公布号 | CN1332268C | 申请公布日期 | 2007.08.15 |
| 申请号 | CN03155517.9 | 申请日期 | 2003.07.09 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | J·W·M·克里克哈尔;H·J·M·范贝斯特维尔德特;A·W·E·明奈尔特;M·A·J·托伊文;J·洛夫 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G03B27/54(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 章社杲 |
| 主权项 | 1.一种基底固定件，包括：一个可由光刻装置接收、具有第一额定大小的板件，以及一个用于固定具有第二额定大小的基底的夹具，其特征在于，所述夹具包括一个磁性材料环，该磁性材料的内部周线类似并小于所述基底的外部周线，并且有多个磁体被固定在板件上。 | ||
| 地址 | 荷兰维尔德霍芬 | ||