硅的湿化学处理方法及装置

摘要

本发明涉及一种使用含有水、硝酸及氢氟酸的蚀刻液体实施硅的湿化学处理的方法，其中通过将氮氧化物(NO_x)通入所述蚀刻液体中，在该蚀刻液体首次用于硅的湿化学处理前将其活化。本发明还涉及一装置，该装置包括：a)第一容器(1)，借助于一含有水、硝酸及氢氟酸的蚀刻液体(4)，在该容器内对硅进行湿化学处理，b)第二容器(2)，其中已装有新鲜蚀刻液体(5)，和c)第一容器与第二容器间的连接管线(8)，经由该管线(8)将实施湿化学处理过程中在第一容器内形成的氮氧化物(NO_x)输送至第二容器。

主权项

1、一种使用含有水、硝酸及氢氟酸的蚀刻液体实施硅的湿化学处理的方法，其中通过将氮氧化物NOx通入所述蚀刻液体中，在该蚀刻液体首次用于硅的湿化学处理前将其活化，其中用于活化的氮氧化物NOx是在第一容器(1)内用一蚀刻液体对硅实施湿化学处理的过程中产生的，所述蚀刻液体含有水、硝酸及氢氟酸，将所形成的氮氧化物NOx从第一容器内排放出来，并将其送入第二容器(2)以活化新鲜蚀刻液体(5)，其中所述第二容器中装有的新鲜蚀刻液体(5)同样含有水、硝酸和氢氟酸。