| 发明名称 |
LITHOGRAPHISCHES VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROBAUTEILEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT368242(T) |
申请公布日期 |
2007.08.15 |
| 申请号 |
AT20040739268T |
申请日期 |
2004.05.19 |
| 申请人 |
SINGLETON, LAURENCE |
发明人 |
SINGLETON, LAURENCE;SCHEURER, JOERG |
| 分类号 |
G03F7/11;B81C1/00;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/40;G03F7/42 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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