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发明名称
摘要
申请公布号 JP3959175(B2) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 JP19980160687 申请日期 1998.06.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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