一种高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法

摘要

一种X射线衍射光学元件—高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法，步骤如下：1.在自支撑X射线掩模衬基上淀积薄铬薄金层；2.在薄铬薄金层表面上甩电子束光刻胶，得到光栅图形；3.所得片子放在电镀液中电镀出X射线掩模吸收体金图形；4.所得片子去除电子束光刻胶；5.再去除电子束光刻胶图形下的薄铬薄金层；6.玻璃上旋涂聚酰亚胺，并固化；7.在聚酰亚胺表面上淀积金；8.在金表面旋涂X射线光刻胶，完成的高分辨率光栅X射线掩模进行X射线光刻并显影；9.对X射线光刻后的片子进行金去除；10.去除聚酰亚胺；11.去除X射线光刻胶；12.背面腐蚀透玻璃；完成高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作。

主权项

1、一种X射线衍射光学元件-高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作方法，这种X射线衍射光学元件主要用于X射线波段的谱学诊断，它的特点采用电子束光刻技术手段制作一块X射线掩模，然后并行的以X射线光刻为手段进行复制，从而制作出自支撑全镂空透射光栅，其步骤如下：步骤1、在自支撑X射线掩模衬基上淀积薄铬薄金层，作为电镀衬基；步骤2、在薄铬薄金层表面上甩电子束光刻胶，并进行电子束光刻，得到高分辨率光栅图形，形成电镀模子；步骤3、将步骤2所得片子放在金电镀液中电镀出X射线掩模吸收体金图形；步骤4、对步骤3所得片子去除电子束光刻胶；步骤5、再去除电子束光刻胶图形下的薄铬薄金层，完成高分辨率光栅X射线掩模的制作；步骤6、玻璃上旋涂聚酰亚胺，并固化；步骤7、在聚酰亚胺表面上淀积金；步骤8、在金表面旋涂X射线光刻胶，用步骤5完成的高分辨率光栅X射线掩模进行X射线光刻并显影；步骤9、对X射线光刻后的片子进行金去除；步骤10、去除聚酰亚胺；步骤11、去除X射线光刻胶；步骤12、背面腐蚀透玻璃；完成高分辨率自支撑全镂空透射光栅的制作。