发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR HERSTELLUNG DÜNNER METALLCHALKOGENID-SCHICHTEN
摘要
申请公布号 AT369631(T) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 AT19990919112T 申请日期 1999.03.12
申请人 HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG 发明人 FISCHER, CHRISTIAN;MOELLER, JESCO;KOENENKAMP, ROLF;LUX-STEINER, MARTHA;SIEBENTRITT, SUSANNE
分类号 C01G15/00;H01L31/18;C23C8/02;C23C8/06;C23C10/22;H01L21/368;H01L31/04 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人
主权项
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