发明名称 MgO蒸镀材料
摘要 一种用于形成等离子体显示面板保护膜的MgO蒸镀材料,其包含MgO纯度为98%以上、且相对密度为90%以上的MgO粒料。粒料仅含有Sc元素作为稀土类元素。Sc元素的浓度为5~5000ppm、优选为10~3000ppm、进而优选20~2000ppm。
申请公布号 CN101018883A 申请公布日期 2007.08.15
申请号 CN200580030937.2 申请日期 2005.07.13
申请人 三菱麻铁里亚尔株式会社 发明人 樱井英章;黛良享;平田宽树
分类号 C23C14/24(2006.01);H01J11/02(2006.01);C04B35/04(2006.01) 主分类号 C23C14/24(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 孙秀武;李炳爱
主权项 1.一种MgO蒸镀材料,用于形成等离子体显示面板的保护膜,其包含MgO纯度为98%以上、且相对密度为90%以上的MgO粒料,上述粒料仅含有Sc元素作为稀土类元素,上述Sc元素浓度为5~5000ppm。
地址 日本东京都
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