一种半导体材料生长系统的滑动机构

摘要

一种半导体材料生长系统的滑动机构，涉及液相外延半导体材料生长系统的滑动机构。由置于密闭的石英管(14)和石英外壳(6)内的生长舟(10)、底板(13)和拉杆(9)组成，拉杆(9)的另一端设有对称的两个小碗，小碗内各放置一个不锈钢珠(8)，石英外壳(6)的顶端设有进气口(7)，其外表面设有刻度(4)并套有磁铁(16)，人可在全密闭的系统外，移动磁铁(16)，就能自如地移动生长舟(10)，使生长舟(10)上装载的每一个生长液按需对准底板(13)的衬底(12)，完成在衬底(12)上逐层叠加生长。本发明省去了氮气箱和氮气，节约了成本，提高了材料的纯度，使电学性能获得大改善。结构简单易制作。可广泛应用于各种液相外延半导体材料生长系统。

主权项

1.一种半导体材料生长系统的滑动机构，包括生长舟(10)、底板(13)和拉杆，生长舟(10)安装在底板(13)上，与底板匹配可在底板上移动，且开设能放置生长液(11)的液槽，底板(13)上开设一个凹槽，凹槽内放置衬底(12)，底板(13)和生长舟(10)置于可以密封的石英管(14)内，石英管(14)置于电气炉(2)内，拉杆(9)一端与生长舟(10)连接，其特征在于：拉杆(9)的另一端设有对称的两个小碗，小碗内各放置一个不锈钢珠(8)，且置于能与石英管固接的石英外壳(6)内，石英外壳(6)的顶端设有进气口(7)，其外表面设有铝制外壳(5)，在铝制外壳(5)的外表面设有刻度(4)，在不锈钢珠(8)位置的石英外壳上套有磁铁(16)，移动磁铁(16)就能将密封在石英管(14)和石英外壳(6)内的生长舟(10)移动，使生长舟(10)上装载的每一个生长液按需要对准底板(13)上的衬底(12)，完成在衬底(12)上一层一层的叠加生长。