发明名称 Interference microscope and method for operating an interference microscope
摘要
申请公布号 EP1223451(B1) 申请公布日期 2007.08.15
申请号 EP20010000738 申请日期 2001.12.11
申请人 DE 发明人 DE;DE
分类号 G02B21/06;G02B21/34;G02B21/00 主分类号 G02B21/06
代理机构 代理人
主权项
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