Apparatus and method for production of Epitaxial Films,申请号GB19670000165-传众专利搜索

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发明名称	Apparatus and method for production of Epitaxial Films
摘要
申请公布号	GB1160162(A)	申请公布日期	1969.07.30
申请号	GB19670000165	申请日期	1967.01.02
申请人	MONSANTO COMPANY	发明人	JOHN WILLIAM BURD
分类号	C30B23/00;C30B25/08;C30B25/12;C30B35/00;H01L21/00	主分类号	C30B23/00
代理机构		代理人
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