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Durch Simulieren einer Fertigungsumgebung auf der Grundlage geeigneter Simulationsmodelle wird ein Zeitplan erstellt, in welchem Prozessbeschränkungen, Anlagenverfügbarkeit, Status der Produkteinheiten automatisch berücksichtigt sind. Ferner kann durch Abschätzen der Prozessablaufeffizienz, die durch einen simulierten zeitlichen Verlauf des Prozessablaufs in der Umgebung bereitgestellt wird, ein optimierter Zeitplan erstellt werden, was durch Erkennen wenig effizienter Produkteinheiten und erneutes Disponieren einer oder mehrerer Produkteinheiten zum Erhalten einer ersten verbesserten Prozessablaufeffizienz bewerkstelligt werden kann. Die erfindungsgemäße Technik kann vorteilhaft bei der Bearbeitung moderner Massenprodukte eingesetzt werden, die moderne Prozessanlagen und Prozesssequenzen erfordern, etwa die Bearbeitung von Halbleiterbauelementen.
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