| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Herstellen von seriell verschalteten Solarzellen, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Einbringen eines Substrates in mindestens eine Abscheidekammer, Abscheiden von mindestens einer Materialschicht auf das Substrat oder eine bereits aufgebrachte Materialschicht in der Abscheidekammer, wobei in der Abscheidekammer das Substrat auf eine in Richtung einer Abscheideeinrichtung gewölbte Auflagefläche aufgebracht wird, wobei das Substrat flexibel ist und unter mechanischer Vorspannung steht oder entsprechend der Auflagefläche gewölbt ist und eine Strukturierung der aufgebrachten Schicht mittels mindestens eines gespannten Drahtes erfolgt, der mit einer definierten Kraft gegen das auf die gewölbte Auflagefläche aufgebrachte Substrat anliegt und die aufgebrachte Materialschicht oder das Substrat gegenüber der Abscheideeinrichtung abschattet und so die aufzubringende Materialschicht strukturiert.</p> |
