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发明名称
摘要
申请公布号 JP3955340(B2) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 JP19960107781 申请日期 1996.04.26
申请人 发明人
分类号 F27B17/00;C23C14/58;H01L21/00 主分类号 F27B17/00
代理机构 代理人
主权项
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