双阻隔无油超净真空系统装置

摘要

本实用新型涉及一种双阻隔无油超净真空系统装置。本实用新型在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。本实用新型解决了现有技术存在的时间长、真空度降低、污染严重，影响高纯材料的合成与熔炼，难以达到要求。本实用新型中第一阻油器将机械泵返流的油蒸汽进行阻隔、收集，防止油蒸汽对真空系统管道、分子泵叶片的污染，第二阻油器将对已经进入分子泵泵腔的油分子进行再阻隔、收集，防止油蒸汽对被抽容器的污染。且结构简单，效果明显，操作方便。

主权项

1.双阻隔无油超净真空系统装置，有机械泵、分子泵、被抽容器，其特征在于在机械泵、分子泵的气体回路上设置第一阻油器，在分子泵、被抽容器之间设置第二阻油器。