| 发明名称 |
Method of second step polishing in copper CMP with a polishing fluid containing no oxidizing agent |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1526163(B1) |
申请公布日期 |
2007.08.08 |
| 申请号 |
EP20040256264 |
申请日期 |
2004.10.09 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. |
发明人 |
BIAN, JINRU |
| 分类号 |
B24B37/00;C09G1/02;B24B37/04;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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