发明名称 沉积氧化铝涂层的方法
摘要 一种通过使基底表面与含铝前体和羧酸酯的流体混合物接触而将氧化铝涂层沉积到所述基底上的方法。
申请公布号 CN101014547A 申请公布日期 2007.08.08
申请号 CN200580007886.1 申请日期 2005.03.09
申请人 皮尔金顿北美公司;皮尔金顿集团有限公司 发明人 M·P·小雷明顿;D·A·斯特里克勒;S·瓦拉纳斯;L·叶
分类号 C03C17/245(2006.01);C03C17/34(2006.01) 主分类号 C03C17/245(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 吕彩霞;段晓玲
主权项 1.一种通过使处于高温的基底表面与含铝前体的流体混合物接触而将氧化铝涂层沉积到所述表面上的方法,其特征在于该流体混合物还包括羧酸酯。
地址 美国俄亥俄州