一种利用金属薄膜吸附脱附处理废气的方法

摘要

本发明涉及一种利用金属氧化物薄膜吸附脱附处理废气的方法，其技术方案为：利用真空镀膜机，在真空镀膜机上加入四极质谱程序升温热脱附TPD(Temperature Programmed Desorption)检测气体设备，将高纯度过渡金属氧化物混合粉末涂在镀膜机中的电阻丝上，控制温度在800℃～1400℃、经28～200秒真空加热蒸发，待金属氧化物沉积到基底材料上形成TiO₂薄膜后，再将真空镀膜机抽真空至0.6×10^－3Pa～6×10^－3Pa之间、降至室温；导入NO废气，控制基底材料温度在400℃至700℃、保持10～28分钟，再抽真空，降至室温，即可完成处理废气。

主权项

1.一种利用金属薄膜吸附脱附处理废气的方法，其特征在于利用真空镀膜机，将高纯度过渡金属氧化物混合粉末用水或其他液体调和成乳状体，涂在镀膜机中的电阻丝上，控制温度在800℃～1400℃、经28～200秒真空加热蒸发，待金属氧化物沉积到基底材料上形成薄膜后，再将真空镀膜机抽真空至0.6×10-3Pa～6×10-3Pa之间、降至室温；导入NO废气，控制基底材料温度在400℃至700℃、保持3～28分钟，再抽真空，降至室温，即可完成处理废气。