发明名称 |
热式流量传感器 |
摘要 |
一种在热式流量计,减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时,减小来自安装构件的应力影响,从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7),并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10),其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路,来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外,在隔膜(4)与电极(15a~15f)之间形成背面沟(17a、17b)。 |
申请公布号 |
CN101013043A |
申请公布日期 |
2007.08.08 |
申请号 |
CN200710001728.6 |
申请日期 |
2007.01.16 |
申请人 |
株式会社日立制作所 |
发明人 |
中野洋;山田雅通;松本昌大;渡边泉 |
分类号 |
G01F1/69(2006.01);G01F1/68(2006.01);G01F1/692(2006.01) |
主分类号 |
G01F1/69(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
汪惠民 |
主权项 |
1、一种热式流量传感器,使用具有温度依赖性的发热电阻体测定待测定流体的流量,所述热式流量传感器具备:多个发热电阻体;和对提供给这些发热电阻体的发热用的电流进行控制的驱动电路,所述驱动电路对所述多个发热电阻体中温度低的发热电阻体的电阻变化进行检测,并按照该电阻变化的检测值来控制向所述多个发热电阻体的供给电流。 |
地址 |
日本东京都 |