| 发明名称 |
Untersuchungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60314484(D1) |
申请公布日期 |
2007.08.02 |
| 申请号 |
DE20036014484 |
申请日期 |
2003.10.30 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
DEN BOEF, ARIE JEFFREY;DUSA, MIRCEA |
| 分类号 |
G03F1/08;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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