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发明名称
摘要
申请公布号 NL6913234(A) 申请公布日期 1970.03.03
申请号 NL19690013234 申请日期 1969.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;C23C16/54;H01L21/00;(IPC1-7):C23C11/00;H01L7/36 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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