利用湿式蚀刻转移奈米压印图案的方法

摘要

一种利用湿式蚀刻转移奈米压印图案的方法，包含以下步骤：制备基板及氧化层、设置阻剂层、在阻剂层上压印图案、第一次蚀刻，以及第二次蚀刻。其中，该第一次蚀刻是将基板浸泡在蚀刻溶液中，亦即进行湿式蚀刻，利用蚀刻溶液对氧化层及阻剂层的蚀刻速度不同，使氧化层形成图案，接着再进行第二次蚀刻，图案即形成于基板上。该湿式蚀刻快速且均匀，并可同时将多片基板浸泡在蚀刻溶液中一起进行蚀刻，故兼具有蚀刻时间短、步骤简单、不需复杂昂贵的仪器设备、降低制作成本等优点。