自研磨垫移除粒子之系统及方法

摘要

本发明揭示一种自一研磨垫移除粒子之系统，其系作为化学机械研磨制程之一部分，用以改进研磨垫移除材料的效率，该系统包含一研磨垫；一流体配送器，其系配置以在研磨垫上配送一流体；及移除构件，其中该移除构件包括一加热器(其系用以增加在该研磨垫上配送之流体的温度)及/或电压构件(其系用于耦合该研磨垫至电压源，以便在该流体配送器于该研磨垫配送该流体之同时，自该研磨垫表面排斥带电荷粒子)。