发明名称 将化学品原液量稀释之系统及其滴定设备
摘要 本创作系关于一种用纯水将酸或硷等化学品之原液量稀释以制备目标浓度的混合溶液之系统及其滴定设备。这里的滴定设备至少包含有一第一滴定单元以及一第二滴定单元。其中,第一滴定单元系利用一电位与一NTBAOH化学液滴定的体积关系来检测出上述混合溶液中一HNO3化学液之浓度。第二滴定单元则可接续利用一电位与NaOH化学液滴定的体积关系,来分别检测出上述混合溶液中一H3PO4化学液及一CH3COOH化学液之浓度。
申请公布号 TWM316264 申请公布日期 2007.08.01
申请号 TW095221688 申请日期 2006.12.08
申请人 亚泰半导体设备股份有限公司 发明人 郑圣弘;徐宏信;林育廷;黄祥纹
分类号 C25D21/14(2006.01) 主分类号 C25D21/14(2006.01)
代理机构 代理人 杨长峰 台北县中和市中正路716号17楼之9
主权项 1.一种将化学品原液量稀释之系统,系利用纯水将 酸或硷等化学品之原液量稀释以制备一目标浓度 的混合溶液之装置,该装置包含: 一原液量槽,其内贮存原液量; 一制备槽,其中将原液量和水混合以制备一种目标 浓度的混合溶液; 一原液量供给系统,藉以将原液量由该原液量槽供 应给该制备槽; 一水供给系统,藉以将该水供应给该制备槽; 一滴定设备,藉以测量该制备槽中的混合溶液之浓 度;以及 一控制系统,依据该滴定设备量测该制备槽中的混 合溶液之浓度测量値,以控制该原液量供给系统及 该水供给系统的操作; 其中,该滴定设备利用一NTBAOH化学液检测出该制备 槽中的混合溶液中一HNO3化学液之浓度且利用一 NaOH化学液分别检测出该制备槽中的混合溶液中一 H3PO4化学液及CH3COOH化学液之浓度。 2.如申请专利范围第1项所述将化学品原液量稀释 之系统,其中该滴定设备系利用一电位与一NTBAOH化 学液滴定的体积关系,来检测出该HNO3化学液之浓 度。 3.如申请专利范围第1项所述将化学品原液量稀释 之系统,其中该滴定设备系利用一电位与NaOH化学 液滴定的体积关系,来分别检测出该H3PO4化学液及 CH3COOH化学液之浓度。 4.一种滴定设备,用于检测一化学品之混合溶液,该 设备包含: 一第一滴定单元,利用一NTBAOH化学液检测出该制备 槽中的混合溶液中一HNO3化学液之浓度;以及 一第二滴定单元,利用一NaOH化学液分别检测出该 制备槽中的混合溶液中一H3PO4化学液及CH3COOH化学 液之浓度。 5.如申请专利范围第4项所述之滴定设备,其中该第 一滴定单元系利用一电位与一NTBAOH化学液滴定的 体积关系,来检测出该HNO3化学液之浓度。 6.如申请专利范围第4项所述之滴定设备,其中该第 二滴定单元系利用一电位与NaOH化学液滴定的体积 关系,来分别检测出该H3PO4化学液及CH3COOH化学液之 浓度。 图式简单说明: 第1图为本创作中将化学品原液量稀释之系统示意 图; 第2图系为本创作中滴定设备之操作示意图; 第3图为本创作中电位与滴定化学液体积之一关系 示意图表;以及 第4图为本创作中电位与滴定化学液体积之另一关 系示意图表。
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