利用电浆处理形成含氮化锗层之方法与系统

摘要

一种利用电浆处理形成经氮化之含锗层的方法与系统。本方法包含下列步骤：将含锗基板提供至处理室中；自包含N2与稀有气体之处理气体生成电浆，并选择该电浆之条件以有效地形成经电浆激发之N2物种且同时控制经电浆激发之N物种形成；及将该基板暴露至该电浆，以在该基板上形成经氮化之含锗层。亦提供一种方法，其包含将含锗介电层暴露至液态或气态H2O，以改变该层的厚度与化学组成。