敏辐射线性树脂组成物

摘要

本发明系提供一种具有敏感度上优异，图型之线边缘的粗糙程度微小，可抑制图型崩倒等特性光阻之敏辐射线性树脂组成物。该敏辐射线性树脂组成物之特征系为含有，具有重复单位如式(1-1)以及式(1-2)之酸解离性基之聚合物，与如式(1-3)所示之添加剂，与酸发生剂，〔式(1-1)之R1表示甲基等、X表示特定的多环型脂环式烃基等；式(1-2)之R1表示甲基等、Z表示可因酸而脱离之酸解离性基；式(1-3)之n表示1~8之整数、A表示互为独立之羟基等。〕。