调整机构及其调整方法与晶圆制造方法

摘要

一种调整机构及其调整方法与晶圆制造方法。调整机构用以调整一晶舟于一炉管内与炉管平行设置。炉管具有一容置槽及一开口，容置槽具有一第一对称中心线，晶舟具有一第二对称中心线。当晶舟经由开口插入容置槽时，容置槽之槽壁与晶舟之侧面之间具有一第一间隙区域。调整机构包括一调整治具及一调整元件。调整治具以可插拔之方式设置于开口处，并具有一宽部、一窄部及一贯孔。贯孔贯穿宽部及窄部，窄部用以塞住开口，使宽部暴露于开口外。当晶舟贯穿贯孔及开口而进入容置槽时，贯孔于窄部处之孔壁与晶舟之侧面之间具有一第二间隙区域，第二间隙区域小于第一间隙区域。调整元件用以根据第二间隙区域，调整第一对称中心线及第二对称中心线相互平行。