发明名称 |
适于减小闭锁的CMOS器件及其制造方法 |
摘要 |
在第一方面中,提供了第一装置。第一装置是半导体器件,包括:(1)浅沟槽隔离(STI)氧化物区域;(2)第一金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET),与STI氧化物区域的第一侧面连接;(3)第二MOSFET,与STI氧化物区域的第二侧面连接,其中部分第一和第二MOSFET形成连接成回路的第一和第二双极结晶体管(BJT);以及(4)在STI氧化物区域下的掺杂剂注入区域,其中掺杂剂注入区域形成BJT回路的一部分并且适于减小回路的增益。还提供了许多其它方面。 |
申请公布号 |
CN101009283A |
申请公布日期 |
2007.08.01 |
申请号 |
CN200710008227.0 |
申请日期 |
2007.01.25 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
C·W·科布格尔三世;古川俊治;J·A·曼德尔曼 |
分类号 |
H01L27/092(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/8238(2006.01);H01L21/84(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/092(2006.01) |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
于静;刘瑞东 |
主权项 |
1.一种衬底上的半导体器件,包括:浅沟槽隔离(STI)氧化物区域;第一金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET),与所述STI氧化物区域的第一侧面连接;第二MOSFET,与所述STI氧化物区域的第二侧面连接,其中部分所述第一和第二MOSFET形成连接成回路的第一和第二双极结晶体管(BJT);以及掺杂剂注入区域,在所述STI氧化物区域下,其中所述掺杂剂注入区域形成BJT回路的一部分并且适于减小所述回路的增益。 |
地址 |
美国纽约 |