发明名称 适于减小闭锁的CMOS器件及其制造方法
摘要 在第一方面中,提供了第一装置。第一装置是半导体器件,包括:(1)浅沟槽隔离(STI)氧化物区域;(2)第一金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET),与STI氧化物区域的第一侧面连接;(3)第二MOSFET,与STI氧化物区域的第二侧面连接,其中部分第一和第二MOSFET形成连接成回路的第一和第二双极结晶体管(BJT);以及(4)在STI氧化物区域下的掺杂剂注入区域,其中掺杂剂注入区域形成BJT回路的一部分并且适于减小回路的增益。还提供了许多其它方面。
申请公布号 CN101009283A 申请公布日期 2007.08.01
申请号 CN200710008227.0 申请日期 2007.01.25
申请人 国际商业机器公司 发明人 C·W·科布格尔三世;古川俊治;J·A·曼德尔曼
分类号 H01L27/092(2006.01);H01L27/12(2006.01);H01L21/8238(2006.01);H01L21/84(2006.01) 主分类号 H01L27/092(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 于静;刘瑞东
主权项 1.一种衬底上的半导体器件,包括:浅沟槽隔离(STI)氧化物区域;第一金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET),与所述STI氧化物区域的第一侧面连接;第二MOSFET,与所述STI氧化物区域的第二侧面连接,其中部分所述第一和第二MOSFET形成连接成回路的第一和第二双极结晶体管(BJT);以及掺杂剂注入区域,在所述STI氧化物区域下,其中所述掺杂剂注入区域形成BJT回路的一部分并且适于减小所述回路的增益。
地址 美国纽约