可变形镜以及具有该镜的光学拾取装置

摘要

一种可变形镜，具有：基板；形成于基板上的下部电极膜；形成于下部电极膜上的压电膜；形成于压电膜上的上部电极膜；和镜膜，其直接形成于基板上，并且设置为由下部电极膜、压电膜、和上部电极膜所构成的驱动部包围。该镜膜设置在基板中所设置的可动部上，并且驱动部的至少一部分设置在该可动部上。

主权项

1、一种可变形镜，包括：驱动部，其包括压电膜、以及将该压电膜夹在中间的第一和第二电极膜；基板，其支撑着该驱动部并且该基板的一部分通过被薄化而形成可动部；镜膜，其直接形成于该可动部上，以便当该驱动部被驱动时，该镜膜改变其形状；其中，该镜膜形成于基板的与经过处理而形成可动部的一侧相对的侧面上；并且该镜膜形成为不与该驱动部重叠，或者与所述第一和第二电极膜之一形成为一体；其中，该驱动部的至少一部分设置在该可动部上。