发明名称 磁电子器件及其制造方法
摘要 提供一种用于制造利用于磁电子器件中的覆层导体(42)的方法。该方法包括提供衬底(10)以及在衬底(10)上面形成导电阻挡层(12)。介电层(16)形成在导电阻挡层(12)上面,并且导电线(20)形成在一部分介电层(16)内。除去介电层(16),并在导电线(20)上面形成磁通量集中器(30)。
申请公布号 CN1329976C 申请公布日期 2007.08.01
申请号 CN200380104188.4 申请日期 2003.11.14
申请人 飞思卡尔半导体公司 发明人 马克·A·杜尔拉姆;杰弗里·H·贝克;布赖恩·R·布彻;马克·F·德赫尔雷拉;约翰·J·蒂′乌尔索;厄尔·D·富克斯;格雷戈里·W·格里恩凯维希;凯利·W·凯勒;杰伊纳尔·A·莫拉;J·杰克·任;尼古拉斯·D·里佐
分类号 H01L21/8246(2006.01);G11C11/15(2006.01);G11C11/16(2006.01) 主分类号 H01L21/8246(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 樊卫民;钟强
主权项 1.一种用于制造利用于磁电子器件中的覆层导体的方法,该方法包括如下步骤:提供衬底;在所述衬底上面形成导电阻挡层;在所述导电阻挡层上面形成介电层;在所述介电层的一部分内形成导电线;除去所述介电层;以及在所述导电线上面形成磁通量集中器。
地址 美国得克萨斯