发明名称
摘要
申请公布号 JP3950622(B2) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 JP20000325925 申请日期 2000.10.25
申请人 发明人
分类号 G12B5/00;H01L21/66;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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