| 发明名称 | 用于电子柱的运动设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于电子柱的运动设备，该运动设备提供了发射电子束的电子柱与其上照射电子束的样本之间的相对运动。该运动设备包括：用于将电子束发射到样本上的多微柱；用于支撑该多微柱的支架；以及用于驱动该支架以移动该多微柱的驱动装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101010774A | 申请公布日期 | 2007.08.01 |
| 申请号 | CN200580029412.7 | 申请日期 | 2005.09.01 |
| 申请人 | 电子线技术院株式会社 | 发明人 | 金浩燮;金秉辰 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01) | 主分类号 | H01J37/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉;吕俊刚 |
| 主权项 | 1、一种用于电子柱的运动设备，该运动设备包括：电子柱，用于将电子束发射到样本上；腔，用于容纳所述电子柱并将所述电子柱保持在超高真空中；支架，用于支撑所述腔；驱动装置，用于驱动所述支架，以实时地移动所述电子柱；所述样本，从所述电子柱发射的电子束照射在所述样本上；以及真空腔，用于将所述样本保持在低真空或高真空中。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||