| 发明名称 |
FORMATION OF SILICON NITRIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5244795(A) |
申请公布日期 |
1977.04.08 |
| 申请号 |
JP19750120681 |
申请日期 |
1975.10.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YOSHIMI TAKEO;SASAKI YUKIO;SUGAWARA KATSUO |
| 分类号 |
C23C16/34;C01B21/06;H01L21/316;H01L29/20 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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