alteração de resposta temporal de elementos microeletromecánicos

摘要

"ALTERAçãO DE RESPOSTA TEMPORAL DE ELEMENTOS MICROELETROMECáNICOS" Um arranjo de elementos móveis é disposto sobre um substrato. Cada elemento tem uma cavidade e um componente móvel para mover-se através da cavidade. A resistência à pressão dos elementos varia, permitindo que sinais de atuação sejam manipulados para ativar os elementos com diferentes resistências à pressão a diferentes níveis do sinal de atuação.