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发明名称 BARRIER APPLICATIONS FOR ALUMINUM PLANARIZATION
摘要
申请公布号 KR100743330(B1) 申请公布日期 2007.07.26
申请号 KR20000062088 申请日期 2000.10.21
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;H01L21/20;C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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