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发明名称
摘要
申请公布号	JP3949186(B2)	申请公布日期	2007.07.25
申请号	JP19950337110	申请日期	1995.12.25
申请人		发明人
分类号	C23C16/50;H05H1/46;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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