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发明名称 TREATING SUBSTRATES BY PRODUCING AND CONTROLLING A CRYOGENIC AEROSOL
摘要
申请公布号 EP0990264(B1) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 EP19980926579 申请日期 1998.06.11
申请人 FSI INTERNATIONAL, INC. 发明人 PATRIN, JOHN, C.;HEITZINGER, JOHN, M.
分类号 B08B5/02;H01L21/306;B08B3/08;F25D3/10;F25J1/00;H01L21/304 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
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