| 发明名称 |
Vorrichtung zur Durchführung von optischen Messungen an einer Probe in einer Vakuumkammer |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE10042123(B9) |
申请公布日期 |
2007.07.19 |
| 申请号 |
DE20001042123 |
申请日期 |
2000.08.28 |
| 申请人 |
NANOPHOTONICS AG |
发明人 |
ABRAHAM, MICHAEL;HAMPEL, MATTHIAS |
| 分类号 |
G01B11/06;G01B11/24;G01N21/00;G01N37/00;G12B5/00;H01L21/00 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
