发明名称 VEFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERBINDUNG AUS KUPFER
摘要
申请公布号 DE60029599(T2) 申请公布日期 2007.07.19
申请号 DE2000629599T 申请日期 2000.09.12
申请人 STMICROELECTRONICS S.A.;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 MORAND, YVES;GOBIL, YVELINE;DEMOLLIENS, OLIVIER;ASSOUS, MYRIAM
分类号 H01L21/768;H01L21/3205;H01L23/522;H01L23/532 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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