| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft einen Scannerkopf (1.1) zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines fokussierten Laserstrahls (7c), umfassend: eine entlang einer ersten Richtung (C) drehbar gelagerte erste Baueinheit (2) zur Umlenkung des Laserstrahls (7a) aus der ersten Richtung (C) in eine zweite, vorzugsweise zur ersten senkrechte Richtung (B) und eine an der ersten Baueinheit (2) befestigte, entlang der zweiten Richtung (B) drehbar gelagerte zweite Baueinheit (3), die einen um eine erste Achse (A<SUB>sc</SUB>) verkippbaren Scannerspiegel (5) aufweist. In der ersten Baueinheit (2) ist eine adaptive Strahlumlenkungseinheit, insbesondere ein adaptiver Spiegel (8), vorgesehen, wobei der eine oder ein weiterer Scannerspiegel (5) in der zweiten Baueinheit (3; 3') um eine zweite, zur ersten senkrechte Achse (B<SUB>sc</SUB>) drehbar oder verkippbar angeordnet ist/sind, und wobei in dem Scannerkopf (1) eine optische Anordnung (6) mit einem strahlaufweitenden Element (9) und einem fokussierenden Element (10) angeordnet ist.</p> |
