发明名称 FORM FÜR DAS NANOIMPRINTVERFAHREN, SOWIE ANWENDUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLCHEN FORM
摘要
申请公布号 AT365616(T) 申请公布日期 2007.07.15
申请号 AT20050103405T 申请日期 2005.04.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 LANDIS, STEFAN;MOLLARD, LAURENT;GOURGON, CECILE;TORTAI, JEAN-HERVE
分类号 B29C33/00;B29C33/42;B29C33/38;B29C33/76;B29C43/36;B29C59/02;G03F7/00 主分类号 B29C33/00
代理机构 代理人
主权项
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