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发明名称 FOUR TUBULAIRE DESTINE AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS
摘要
申请公布号 BE757500(A1) 申请公布日期 1971.03.16
申请号 BED757500 申请日期
申请人 THE NATIONAL CASH REGISTER CY, A DAYTON, OHIO (E.U.A.), 发明人 R.L. KOEPP;S.J. DUDKOWSKI.
分类号 H01L21/22;F27D11/02;H01L21/205;H01L21/31;H05B3/00;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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