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发明名称 GEREINIGTER HEIZER-SUSZEPTOR FÜR EINEN ALD/CVD-REAKTOR
摘要
申请公布号 DE602004006720(D1) 申请公布日期 2007.07.12
申请号 DE200460006720T 申请日期 2004.02.11
申请人 GENUS INC. 发明人 DOERING, KEN;KUBANI, MIKE;KIM, GI YOUL;FOOTE, DAVID
分类号 H01L21/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;F27B5/14;F27B17/00;F27D11/00;H01L21/687;H05B3/10;H05B3/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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