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发明名称 Target-Führunggsystem für einen Tröpfchengenerator in einer EUV Plasmaquelle
摘要
申请公布号 DE60311350(T2) 申请公布日期 2007.07.12
申请号 DE20036011350T 申请日期 2003.05.20
申请人 UNIVERSITY OF CENTRAL FLORIDA FOUNDATION INC. 发明人 PETACH, MICHAEL B.;FORNACA, STEVEN W.;ORSINI, ROCCO A.
分类号 G21K5/00;H05G2/00;G03F7/20;G21K5/02;H01L21/027;H05H1/24 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
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